線切割機(jī)用于減速器關(guān)鍵零組件的切割加工,具備長(zhǎng)期穩(wěn)定的高精度加工性能,可使減速器的關(guān)鍵零組件在淬火后的半精加工后余量控制在微米級(jí),大幅提高了末段工藝設(shè)備的產(chǎn)能,進(jìn)而有助于降低減速器在量產(chǎn)過程中對(duì)部分國(guó)外進(jìn)口機(jī)床的被動(dòng)依賴。 是通過纏繞在主軸上的金剛線高速往復(fù)運(yùn)動(dòng),將半導(dǎo)體等硬脆材料同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的切割加工方法。已逐漸取代了內(nèi)圓切割,成為半導(dǎo)體磁材、硅片、寶石等切割加工的主要方式,有高精度、高速度、低損耗等優(yōu)點(diǎn)。
控制系統(tǒng)中張力控制、收放線電機(jī)和主電機(jī)的同步運(yùn)行是控制的關(guān)鍵技術(shù)。一般多線切割機(jī)都配備有主軸電機(jī)、收線電機(jī)、收線排線電機(jī)、收線張力電機(jī)、放線電機(jī)、放線排線電機(jī)、放線張力電機(jī)、工作臺(tái)升降電機(jī)等,早期的控制系統(tǒng)一般都是采用臺(tái)達(dá)的DVP10MC11T,它是基于現(xiàn)場(chǎng)總線的多軸控制器,它遵循基本通訊協(xié)議和DSP402運(yùn)動(dòng)控制協(xié)議,支持大部分運(yùn)動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)指令庫(kù)。
特點(diǎn):
?。?)hct-b6多線切割設(shè)備集成了化學(xué)、物理、機(jī)械、電氣等方面技術(shù)。
?。?)擁有高精度4軸排線導(dǎo)輪驅(qū)動(dòng)裝置技術(shù)。增大了切割能力。
?。?)切割進(jìn)給伺服系統(tǒng)。配合線絲張力自動(dòng)控制系統(tǒng)的作用,保證在不斷絲條件下實(shí)現(xiàn)切割的高效性。
?。?)使用漿料回收系統(tǒng),漿料可直接從漿料缸取出回收利用。節(jié)省了大部分的漿料成本。
?。?)片厚平均厚度誤差小,適合大規(guī)模制造。
在切割時(shí),主軸電機(jī)先正轉(zhuǎn)一段距離(設(shè)為A米),然后再反轉(zhuǎn)一段距離(設(shè)為B米),根據(jù)實(shí)際情況,0.5M<A-B<1.5M,保證在多次往復(fù)運(yùn)動(dòng)中,將新的切割線逐漸放出,已使用的切割線逐漸收回。在主軸運(yùn)行的同時(shí),收放線電機(jī)要保持與主軸電機(jī)的線速度同步。由于在運(yùn)行中,收放線輪的直徑會(huì)一直變化,如果不調(diào)整收放線電機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度,主軸上的線速度和收放線輪上的線速度偏差會(huì)越來(lái)越大,將會(huì)拉斷切割線,此時(shí),需要要根據(jù)張力輪的位置,去實(shí)時(shí)調(diào)整收放線電機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度,這是整個(gè)控制系統(tǒng)中最為關(guān)鍵的地方。
線切割機(jī)晶片的彎曲度(bow)小,翹曲度(Warp)小,平行度(Tarp)好??偤穸裙钚。═TV)小,片間切割損耗少,加工晶片表面損傷層淺,粗糙度小,切片加工出片率高,生產(chǎn)效率高,投資回報(bào)呂高。
因此,應(yīng)用線切割機(jī)是發(fā)展規(guī)?;a(chǎn)和提高生產(chǎn)效率的必然選擇,使用多線切割機(jī)加工各類晶片是必然趨勢(shì),特別適用于太陽(yáng)能光伏電池超薄機(jī)基片的批量加工。